WLI
WLI 白光干涉仪专为非接触式测量超光滑至中等结构的技术表面而设计。放大倍率介于 2.5x 和 100x 之间的各种物镜以及不同评估方法的实施，涵盖了微观和宏观应用之间的广泛应用范围。结合集成的压电致动器，测量范围可达 400 微米，分辨率可达亚纳米级。
该干涉仪既可作为 OEM 组件使用，也可与我们的 Hyperion、Enceladus 和 Titan 测量台配合使用，组成一个经济、灵活的测量系统。
工作原理：
通过将样品反射的光与镜头中产生的参考波叠加，在最佳焦距位置周围的一小块区域内，相机图像会出现特征性的强度变化。特殊算法（详情）利用这种变化来确定轮廓高度和干涉对比度。
特殊优势：
基于显微镜的技术，可捕捉到物理极限的最小细节
基于区域的测量方法，可在几秒钟内得出结果
采用 LED 技术，低功耗，免维护，经久耐用
适用于从显微镜到大面积的测量
最高的横向和轴向分辨率
可选最高质量的镜头，放大倍率从 2.5 倍到 100 倍不等
尺寸小巧：包括镜头在内为 220 x 93 x 65 毫米
可集成到 OEM 上部结构中
可作为工业显微镜的附加组件
价格低廉
应用领域：
- 测量地形、高度、形状和位置
- 确定粗糙度、面积、平面度或体积
- 通过平行获取表面图像实现可视化
- 半导体工业、电子、电气工程
- 光学、材料研究、机械工程
- 医疗技术
- 高灵敏度、软介质或液体介质的测量
- 对光学要求较高的测量对象进行测量
