KFM XPERT
KFM xpert 共聚焦显微镜是共聚焦显微镜和白光干涉仪的特殊组合，适用于显微镜下的高结构性样品以及大面积超光滑表面。即使是基本型号的物镜转塔，也可以根据用户的要求组合使用六个物镜。每种形貌和测量任务都有相应的测量方法。
即使是在高度倾斜和不合适的表面上，共焦测量也能可靠地捕捉到最小的细节，直至物理极限。为完成这一任务，我们提供了一系列最高质量的精选镜头，放大倍率在 10x 到 150x 之间。
白光模式特别适用于超光滑到中等结构的表面，测量范围大。在合适的表面上，无论物镜倍率如何，轴向分辨率都在亚纳米范围内。有六种倍率介于 2.5x 和 100x 之间的物镜可供选择，图像介于 7.1x5.3mm 和 178x134µm 之间。
在这两种测量模式下，均方差测量法可同时捕捉表面形貌和全焦亮度或干涉对比度图像。
工作原理：
共焦测量模式：使用旋转圆盘进行平面共焦检测。由于共焦光束路径的深度分辨效应，只对焦点附近的部分图像进行成像和分析（细节）。一种特殊的真实峰值检测算法可从图像数据中确定剖面高度和全焦表面图像。
干涉测量模式：通过将样品反射的光与镜头中产生的参考波叠加，在最佳聚焦位置周围的小范围内，相机图像会产生特征性的强度变化。特殊算法（详情）可确定轮廓高度和干涉对比度。
特殊优势：
- 基于显微镜的技术，可捕捉到物理极限的最小细节
- 基于区域的测量方法，可在几秒钟内得出结果
- 采用 LED 技术，免维护且经久耐用
- 适用于从显微镜到大面积的测量
- 最高的横向和轴向分辨率
- 多种高质量的精选镜头
- 用于快速更换镜头的转轮
- 低功耗
- 可集成到 OEM 设备中
应用领域：
- 测量地形、高度、形状和位置
- 确定粗糙度、面积、平面度或体积
- 通过平行获取表面图像实现可视化
- 半导体工业、电子、电气工程
- 光学、材料研究、机械工程
- 医疗技术
- 高灵敏度、软介质或液体介质的测量
- 对光学要求较高的测量对象进行测量
