HYPERION
Hyperion 紧凑型系统是一种高精度三维测量系统，用于非接触式测量形貌和轮廓。OPM GmbH 的光学传感器用于记录测量值。通过选配的电动 Z 轴，可直接测量高度达 1.5 mm 的结构尺寸，分辨率可达 10 nm，干涉仪的分辨率可达亚纳米级。
Inspector 软件包可对记录的测量数据进行全面分析。
特殊优势：
- 多传感器功能
- 所需空间小，重量轻，精度最高
- 集成电机控制电子元件，无需安装 PC 组件
- 采用多种传感器，适用于各种测量任务
- 通过集成显微镜（AF16，白光干涉仪）或侧显微镜（KF3、KF3/Tele、C1 可选）观察测量点
- 丰富的记录数据分析选项
- 卓越的性价比
- 提供从 50x50mm 到 300x300mm 的不同型号
应用领域：
- 实验室和研究所领域，特别是材料研究
- 微机械和纳米技术
- 工业测量室
- 过程质量保证
